蔡司工業CT檢測設備主要由射線源、探測器系統、機械掃描系統、重建及可視化系統等組成。與醫用CT不同，大多數工業CT都是根據用戶需求進行定制化設計，設備之間的結構、配置、功能特性、技術指標、軟件等都同。不同射線源和探測器可組成不同的檢測系統，如單源單探(如微焦點射線源+線陣探測器)、雙源單探(如常規射線源和加速器射線源+線陣探測器)、雙源雙探(微焦點射線源和常規射線源+線陣和面陣探測器)等。

   射線源-機械掃描系統-探測器系統的組合對工業CT系統性能起決定作用，它決定了工業CT檢測試件范圍及可能獲得的信息質量;重建及可視化系統是工業CT系統重要組成部分，它決定了如何在短時間內重建出高質量的CT圖像。

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