影像儀在進行測量時通常流程是先對焦對準，再讀數，然后計算處理。讀數來自于光柵系，對焦對準依賴于影像儀的光學系統，還有一個有效正確的照明光源直接影響測量效果和精度。此外環境條件也是影響測量精度不容忽視的因素。接下該設備有什么硬件因素會導致誤差。

　　1、顯微鏡光軸與作業臺面不筆直發生的誤差。這種誤差源發生后通常能夠經過調整顯微鏡的聚光鏡方位來實現消除誤差源。

　　2、影像儀的兩個作業臺運動測量坐標軸之間相互筆直度帶來的誤差。這種誤差源能夠經過調整兩個運動坐標軸之間的筆直度來減小這種誤差源的影像。

　　3、設備作業臺移動時存在的直線度、角擺度問題帶來的誤差。這種誤差源通常要經過檢測與調整導軌筆直度、平行度來處理。

　　4、設備光柵計數尺的測量精度或硬件問題帶來的誤差，這種誤差源由因此光柵計數尺自身的問題導致的，因此能夠選擇替換愈加高精度的光柵計數尺來處理。

　　以上內容就是對影像儀有什么硬件因素會導致誤差的介紹了，能夠看出許多誤差來自于硬件誤差，這些在設備制造過程中已經形成并固定下來，沒辦法改變，因此選擇一臺零配件優質，構造完美，控制系統穩定，測量精度高的設備很重要。