蔡司三坐標測量機要人們做好日常的養護工作，那樣使用的時候才可以測量的更準確，使用的更長久，因此在維護過程中應注意以下幾個方面：
　　1、空氣壓力和質量
　　蔡司三坐標測量機一般是應用氣浮軸承，工作中的小氣壓應是0.45兆帕斯卡。在工作上應保持氣壓在0.5-0.8兆帕斯卡相互之間，才可以確保蔡司三坐標測量機的優質工作中。雖然有的時候氣壓在0.45兆帕斯卡設備也可以運作，但應考慮到X、Y、Z在運作流程之中氣壓會出現損害，那樣氣浮塊的間距小，若是氣浮塊中有灰塵或細小微粒，會使導軌刮傷，比較嚴重時干擾測量精度或制作成三軸運作卡死。
　　2、導軌的清洗和光柵的養護
　　導軌保持干凈，要應用浸濕過干凈航空汽油或無水乙醇的脫脂棉或絲綢布來清洗;在裝、卸零部件時要特別留意，避免 磕磕碰碰導軌。

   　光柵尺的養護直觀干擾讀值的精密度，Z軸光柵尺外露在外界環境中，而X和Y向光柵尺被外護蓋。因此要格外留意Z軸光柵尺，避免 劃痕。應用浸過干凈航空汽油絲綢布來清洗，讓光柵尺干燥。
　　3、過濾器的清洗
　　要按時清洗過濾器，當看到過濾器的濾芯出現變色，就得清洗。取下塑料杯子、濾網，用中性洗滌劑（大家用四氯化碳水溶液）清洗，再應用干凈的氣體烘干。從頭開始安上后，測量工作的壓力，有必要就調整它。
　　4、電控系統的保持
　　電控系統是蔡司三坐標測量機的關鍵一部分，應當算是相對比較穩定的，但不允許被忽略對它的檢測和保持。長期應用，某些接口、插片有可能松動。有一次大家看到，在開機之后，坐標軸“Home”時犯錯誤警報，清查看到原來是接口松動制作成的。