蔡司三坐標測量機在維護全過程之中覺得下面幾個方面情況理應產生特別注意，這也是各位在應用蔡司三坐標測量機的環節當中的一點經驗和指導。

　　1、空氣壓力和質量

　　蔡司三坐標測量機一般是應用氣浮軸承，運作的小氣壓應是0.45兆帕斯卡。在工作上應維護氣壓在0.5-0.8兆帕斯卡相互之間，才可以確保測量機的良好運作。雖然有時氣壓在0.45兆帕斯卡設備也可以運作，但應在意到X、Y、Z在運作環節當中氣壓會出現損害，那樣氣浮塊的間距小，若是氣浮塊中有煙塵或細小微粒，會使導軌刮傷，比較嚴重時干擾測量精度或制作成三軸運作卡死。

　　2、導軌的清洗和光柵的養護

　　導軌維護清潔，必要應用浸濕過清潔航空汽油或無水乙醇的脫脂棉或絲綢布來清洗;在裝、卸零部件時要尤其留意，避免 磕磕碰碰導軌。

　　光柵尺的養護直觀干擾讀數的精密度，Z軸光柵尺外露在外界環境中，而X和Y向光柵尺被外罩蓋。因此 要格外留意Z軸光柵尺，避免 劃痕。應用泡過清潔航空汽油絲綢布來清洗，讓光柵尺干燥。

　　3、過濾器的清洗

　　要按時清洗過濾器，當看到過濾器的濾芯出現變色，就得清洗。取下塑料杯、濾網，用中性洗滌劑(各位用四氯化碳溶液)清洗，再應用清潔的氣體烘干。從頭開始裝上后，精確測量壓力，有必要就調整它。

　　4、電子控制系統的維護

　　電子控制系統是蔡司三坐標測量機的關鍵一部分，應當算是較為穩定的，但不允許被忽略對它的檢測和維護。長期應用，一點接口、插片有可能松動。有一次各位看到，在開機以后，坐標軸“Home”時犯錯誤警報，清查看到原來是接口松動制作成的。